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CYCLIC SCHEDULING OF CLUSTER TOOLS WITH NON-IDENTICAL CHAMBER ACCESS TIMES

机译：具有非标准室访问时间的集群工具的循环调度

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作者
S. Jain; R. R. Creasey; J. Himmelspach; K. P. White; M. Fu; Dae-kyu Kim; Chihyun Jung; Tae-eog Lee; Yu-ju Jung;
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年度 2014
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2. Cyclic Scheduling of Cluster Tools With Nonidentical Chamber Access Times Between Parallel Chambers [J] . Kim D.-K., Jung Y.-J., Jung C., Semiconductor Manufacturing, IEEE Transactions on . 2012,第3期

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3. Scheduling and Control of Start-up Process for Time-Constrained Single-Arm Cluster Tools with Parallel Chambers [J] . FaJun Yang, Yan Qiao, KaiZhou Gao, IFAC PapersOnLine . 2018,第7期

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4. Cyclic Scheduling Analysis of Single-arm Cluster Tools with Wafer Residency Time Constraint and Chamber Cleaning Operations [C] . FaJun Yang, NaiQi Wu, Rong Su, International Conference on Automation Science and Engineering . 2018

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